東京精密 表面粗糙度·輪廓形狀測(cè)量機(jī)

SURFCOM NEX可以對(duì)應(yīng)粗糙度測(cè)量、輪廓測(cè)量、粗糙度輪廓形狀綜合測(cè)量這三種功能，可以根據(jù)測(cè)量目的選擇相應(yīng)的傳感器。不但各種傳感器可以單獨(dú)使用，也可以將各種傳感器組合起來(lái)，作為復(fù)合機(jī)使用。無(wú)論是混合型、粗糙度輪廓復(fù)合型傳感器，都能根據(jù)用途自由選擇。

SURFCOM 的進(jìn)化表現(xiàn)出了新的標(biāo)準(zhǔn)在市場(chǎng)上的實(shí)際表現(xiàn)證明了它無(wú)以倫比的擴(kuò)展性能一直在追求功能和設(shè)計(jì)兼顧的NEX系列正在世界上衍生成為新的標(biāo)準(zhǔn)

無(wú)論是粗糙度測(cè)量、輪廓形狀測(cè)量、混合測(cè)量，都能在升級(jí)追加功能新產(chǎn)品的擴(kuò)展性能使得一臺(tái)設(shè)備能擁有多種功能

例如，如果只是需要一般的粗糙度測(cè)量機(jī)，則只要選擇粗糙度傳感器就可以。后續(xù)，如果需要同時(shí)評(píng)價(jià)R面的粗糙度和大量程的表面形狀，只要升級(jí)為混合傳感器就可以滿足，而僅僅只需要更換傳感器就可以了。此外，還可以根據(jù)測(cè)量需求進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)，如升級(jí)為輪廓形狀傳感器和三維粗糙度測(cè)量等。

東京精密 表面粗糙度·輪廓形狀測(cè)量機(jī)

憑借線性驅(qū)動(dòng)部獲得令人吃驚的低振動(dòng)

無(wú)限提升傳感器的分辨率本身并非難事。然而，如果不重新審視傳感器的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，只是不必要地提升傳感器單體的分辨率，那么就*沒有意義，這樣的規(guī)格也只是擺設(shè)而已。東京精密在**在驅(qū)動(dòng)部搭載高精度線性馬達(dá)，同時(shí)根本性地達(dá)到結(jié)構(gòu)上的“高精度極限點(diǎn)"，以動(dòng)態(tài)分辨率（Dynamic Resolution）的創(chuàng)意實(shí)現(xiàn)了的實(shí)力提升。

非接觸驅(qū)動(dòng)的有效性

線性馬達(dá)也適合往復(fù)運(yùn)動(dòng)，可準(zhǔn)確定位并進(jìn)行高速測(cè)量。傳統(tǒng)的控制是組合了電機(jī)、編碼器、線性光柵尺的滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)控制，因此特別是對(duì)于三維表面性狀評(píng)價(jià)等，由于準(zhǔn)確定位造成往復(fù)運(yùn)動(dòng)的控制響應(yīng)性出現(xiàn)了極限。線性驅(qū)動(dòng)基本上是僅靠線性馬達(dá)和標(biāo)尺的簡(jiǎn)單控制，因此可進(jìn)行高響應(yīng)性高精度的定位。

對(duì)位

為了不損害線性馬達(dá)的超低振動(dòng)特性，安裝在X軸驅(qū)動(dòng)部的手動(dòng)進(jìn)給機(jī)構(gòu)在實(shí)際測(cè)量時(shí)，自動(dòng)將手動(dòng)齒輪機(jī)構(gòu)與線性測(cè)量機(jī)構(gòu)的連結(jié)分離開來(lái)。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。此外，在手持操作部，為了能夠在操縱桿操作以外切實(shí)操作微細(xì)的對(duì)位，布局了微動(dòng)進(jìn)給用JOG撥盤。

擁有溫度補(bǔ)正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍擴(kuò)大到20℃ ±5℃

NEX 系列的驅(qū)動(dòng)部配備了標(biāo)準(zhǔn)溫度補(bǔ)正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍從原來(lái)的20℃ ±2℃擴(kuò)大到了20±5℃。以往，因?yàn)闇囟茸兓鸬臒崦浝淇s會(huì)使 X 方向的指示精度受到影響，但是內(nèi)置的溫度傳感器會(huì)根據(jù)實(shí)際的變化，自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)正。溫度的補(bǔ)正與否對(duì)傳感器的精度影響非常大，通過(guò)組合實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)正時(shí)NEX系列*的功能

免維護(hù)

日常不需要向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)加注潤(rùn)滑脂、潤(rùn)滑油。本公司更改了驅(qū)動(dòng)支持導(dǎo)軌面的材質(zhì)和機(jī)構(gòu)，對(duì)無(wú)給油進(jìn)行實(shí)證，實(shí)現(xiàn)了日常免維護(hù)。但是基于保證測(cè)量機(jī)精度的觀點(diǎn)，我們推薦定期維護(hù)。